一种可动光学元件调节定位装置

摘要

一种可动光学元件调节定位装置，涉及一种光刻设备，该装置中可动镜组通过板簧片固定在主镜筒上，可动镜组在驱动电机作用下可以沿光轴运动或是进行水平向倾斜调整，驱动电机驱动采用无隙挠性轴承的驱动机构中杠杆机构长柄，其短柄驱动可动镜组沿光轴运动，本调节定位装置轴向运动精度可达到0.5μm以下，水平向调整精度可达0.5mrad。本调节定位装置结构紧凑，运行平稳，无摩擦，无润滑，低滞后性，且重复性好，可动镜组运动行程可达到0.2mm，线性度极好。

主权项

一种可动光学元件调节定位装置，主要包括：主镜筒(1)，可动镜组(2)，固定镜组(3)，板簧片(4)，其特征在于，该可动光学器件调节定位装置还包括：球头柱塞(5)，驱动电机(8)，电机固定板(9)，驱动机构(10)和位移传感器系统(20)，其中：所述可动镜组(2)通过板簧片(4)固定在所述主镜筒(1)内；所述固定镜组(3)固定在所述主镜筒(1)内；所述驱动机构(10)通过固定螺钉(14)沿光轴方向均布固定在所述主镜筒(1)上，该驱动机构(10)为一级杠杆机构，其包括：通过挠性轴承(104)安装在基座(103)上的杠杆(101)，通过弹簧固定件(102)固定在基座(103)上的弹簧片(105)，安装在所述杠杆(101)长柄处的圆柱销(106)，所述弹簧片(105)一端固定在所述基座(103)上，另一端搭在所述圆柱销(106)上，为所述杠杆(101)提供回弹力；所述驱动电机(8)通过电机固定板(9)随所述驱动机构(10)均布固定在所述主镜筒(1)外侧；所述位移传感器系统(20)通过固定螺钉(15)沿光轴均布固定在所述主镜筒(1)外侧；所述球头柱塞(5)均匀放置在所述可动镜组(2)下端面螺纹孔内，包括一内置弹簧和一位于其下端的滚珠，所述球头柱塞(5)下端的滚珠与所述主镜筒(1)接触，所述球头柱塞(5)具有一定的预紧力，所述预紧力的大小取决于所述内置弹簧压缩距离以及内置弹簧的刚度，足够的预紧力用以保证所述可动镜组(2)在轴向运动时可动镜组镜片(2a) 光轴不发生倾斜。