| 发明名称 | 流量调整器用自动压力调整器 | ||
| 摘要 | 在变更流量调整器的输出流量或变更流通的气体种类时，其输出侧的流量不产生过冲。本发明是一种向流量调整器供给的气体供给压力的自动压力调整器(20)，由压电元件驱动型压力调整阀(15)、控制压检测器(14)以及控制器(16)构成上述自动压力调整器(20)，该控制压检测器设在压力调整阀(15)的输出侧，该控制器被输入控制压检测器(14)的检测值(P2)和控制压的设定值(Pst)，利用比例控制方式而向压力调整阀(15)的压电元件驱动部供给控制信号，进行阀的开度调整，并且，通过使积分动作无效，将控制器的所述比例控制方式作为控制压产生残留偏差的控制。 | ||
| 申请公布号 | CN102057340A | 申请公布日期 | 2011.05.11 |
| 申请号 | CN200980121364.2 | 申请日期 | 2009.04.06 |
| 申请人 | 株式会社富士金 | 发明人 | 平田薰;杉田胜幸;西野功二;土肥亮介;池田信一 |
| 分类号 | G05D16/20(2006.01)I | 主分类号 | G05D16/20(2006.01)I |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人 | 严志军;杨楷 |
| 主权项 | 一种流量调整器用自动压力调整器，是向流量调整器供给的气体供给压力的自动压力调整器，由压力调整阀、控制压检测器以及控制器构成所述自动压力调整器，该控制压检测器设在压力调整阀的输出侧，该控制器被输入控制压检测器的检测值P2和控制压的设定值Pst，利用比例控制方式而向压力调整阀的驱动部供给控制信号，进行阀的开度调整，并且，将所述比例控制方式作为控制压产生残留偏差的比例动作的控制。 | ||
| 地址 | 日本大阪府 | ||