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发明名称
摘要
申请公布号 JP4682371(B2) 申请公布日期 2011.05.11
申请号 JP20040152921 申请日期 2004.05.24
申请人 发明人
分类号 C23C14/35;H01L21/285 主分类号 C23C14/35
代理机构 代理人
主权项
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