正型放射线敏感性树脂组合物、层间绝缘膜及其形成方法

摘要

本发明涉及一种正型放射线敏感性树脂组合物、层间绝缘膜及其形成方法。该正型放射线敏感性树脂组合物的放射线灵敏度、显影裕度高，而且可以形成耐热性、耐溶剂性、低介电性、光线透过率、耐光性、耐干蚀性优异的层间绝缘膜。该正型放射线敏感性树脂组合物包含[A]具有受阻胺结构和/或受阻酚结构的碱可溶性树脂，以及[B]1，2-醌二叠氮化合物。[A]成分优选为由(a1)包含选自不饱和羧酸或不饱和羧酸酐中的一种以上的单体，以及(a2)包含选自下述式(1)所示的化合物、下述式(2)所示的化合物或下述式(3)所示的化合物中的一种以上的单体得到的共聚物。[A]成分可以是由除了上述(a1)和(a2)的化合物以外，还包含(a3)含环氧基的不饱和化合物的单体得到的共聚物。

主权项

一种正型放射线敏感性树脂组合物，其包含：[A]具有受阻胺结构和/或受阻酚结构的碱可溶性树脂，以及[B]1，2‑醌二叠氮化合物。