硅芯棒及用于多晶硅生长的硅芯结构

摘要

本实用新型公开了一种硅芯棒，属于西门子法生产多晶硅技术领域。其为长条状，其横截面为具有至少一个弧状弯曲部的弯曲状。本实用新型还公开了一种用于多晶硅生长的硅芯结构，其包括两根竖硅芯棒(1)，横向搭接在两根竖硅芯棒(1)顶端的横硅芯棒(2)，所述横硅芯棒(2)和竖硅芯棒(1)的横截面均为具有至少一个弧状弯曲部的弯曲状，所述两根竖硅芯棒(1)的顶端具有与所述横硅芯棒(2)外表面形状相适配的形状。本实用新型通过对硅芯棒的形状进行特殊设计，使得硅芯棒的表面积增大，多晶硅在反应初期的沉积面积增大，有利于提高多晶硅的初期生长速率和转换率，并降低能耗。

主权项

一种硅芯棒，为长条状，其特征是：其横截面为具有至少一个弧状弯曲部的弯曲状。