液体检测装置及其制造方法、液体容纳容器

摘要

本发明提供一种具有可以减少部件数量或加大液体检测时的振幅的结构的液体检测装置、使用该液体检测装置的液体容纳容器、以及液体检测装置的制造方法。液体检测装置(200)包括：主体壳体(102)，经由开口部(130)而露出形成有流路(134)；传感器基体(210)，与主体壳体的流路面对配置；传感器芯片(220)，被装载在传感器基体上；膜(220)，对保持有传感器基体的开口部进行密封；以及隔壁(136)，将流路间隔成上游一侧(134a)和下游一侧(134b)。传感器芯片具有传感器腔室(222)，传感器基体包括：第一孔(212)，将液体从上游一侧(134a)向传感器腔室引导；和第二孔(214)，将液体从传感器腔室向下游一侧(134b)引导。传感器基体在开口部的进深方向上能够仅经由隔壁与主体壳体接触。

主权项

一种液体检测装置，其特征在于，包括：主体壳体，经由开口部而露出形成有流路；传感器基体，通过所述主体壳体的所述开口部，与所述流路面对配置；传感器芯片，包括压电元件，所述压电元件被装载在与所述传感器基体面对所述流路的面相反的一侧的面上；膜，将所述传感器基体保持在所述开口部中，并且密封所述开口部；以及隔壁，在所述主体壳体内将所述流路间隔成上游一侧和下游一侧；其中，所述传感器芯片具有接纳作为检测对象的液体的传感器腔室，所述传感器基体包括：第一孔，从所述流路的上游一侧向所述传感器腔室引导所述液体；和第二孔，从所述传感器腔室向所述流路的下游一侧引导所述液体；在所述开口部的进深方向上，所述传感器基体在所述传感器基体的所述第一孔与第二孔之间的位置处能够仅经由所述隔壁而与所述主体壳体接触。