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发明名称 Glass micromachining using multi-step wet etching process
摘要
申请公布号 KR101033174(B1) 申请公布日期 2011.05.11
申请号 KR20050134848 申请日期 2005.12.30
申请人 发明人
分类号 H01L21/3063;C03C15/00 主分类号 H01L21/3063
代理机构 代理人
主权项
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