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发明名称
摘要
申请公布号 JP4680685(B2) 申请公布日期 2011.05.11
申请号 JP20050164177 申请日期 2005.06.03
申请人 发明人
分类号 H01L21/768;H01L21/02;H01L21/033;H01L21/20;H01L21/311;H01L21/8242;H01L27/108 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
主权项
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