等离子体处理装置和等离子体处理方法以及存储介质

摘要

本发明提供一种等离子体处理装置和等离子体处理方法以及存储介质。提供能够减少装置的构成要素，抑制装置结构的复杂化，并且总是能够进行稳定的等离子体处理的技术。该等离子体处理装置通过切换开关(51)使第一高频电源部选择性地与上部电极(3)和下部电极(6)连接，具有自动进行阻抗值的匹配的第一匹配电路(41)和第二匹配电路(71)，在已选择等离子体类别时，参照存储部的数据，通过切换开关(51)使上述高频电源部(5)与对应的电极连接，并且将第一匹配电路(41)和第二匹配电路(71)中作为阻抗调整电路起作用的匹配电路调整至适当的阻抗值。

主权项

一种等离子体处理装置，其为平行平板型的等离子体处理装置，所述等离子体处理装置的特征在于，包括：在处理容器内与该处理容器绝缘并且相互相对设置的第一电极和第二电极；通过切换部选择性地与所述第一电极和所述第二电极中的一个电极连接的第一高频电源部；以及第一匹配电路和第二匹配电路，所述第一高频电源部分别与所述第一电极和所述第二电极连接，在所述第一高频电源部与所述第一电极连接时，所述第一匹配电路作为匹配电路起作用，同时所述第二匹配电路作为阻抗调整电路起作用，在所述第一高频电源部与所述第二电极连接时，所述第二匹配电路作为匹配电路起作用，同时所述第一匹配电路作为阻抗调整电路起作用，通过在所述第一电极和所述第二电极间产生的等离子体对基板进行处理，所述等离子体处理装置还包括：存储对应下述内容的数据的存储部：等离子体处理类别、通过所述切换部选择的所述一个电极、在所述第一高频电源部与所述第一电极连接时作为所述阻抗调整电路起作用的所述第二匹配电路的适当的阻抗值、在所述第一高频电源部与所述第二电极连接时作为所述阻抗调整电路起作用的所述第一匹配电路的适当的阻抗值；和控制部，在已选择等离子体处理类别时，参照所述存储部的数据，使所述第一高频电源部与通过所述切换部所选择的所述一个电极连接，并且输出用于将所述第一匹配电路和所述第二匹配电路中作为所述阻抗调整电路起作用的一个匹配电路调整为适当的阻抗值的控制信号。