离子注入机的终端结构的绝缘系统

摘要

离子注入机(100)包括经组态以提供离子束(152)的离子源(102)、界定空腔(110)的终端结构(104)，所述离子源至少部分地安置于空腔内，以及包括绝缘系统(162，171)。所述绝缘系统经组态以电绝缘终端结构且经组态以在接近终端结构的至少一个外表面的区域中提供大于约72千伏/英寸的有效介电强度(dielectric strength)。本发明亦提供用来电绝缘离子注入机的气体盒(106)的气体盒绝缘系统。

主权项

一种离子注入机，其特征在于包括：离子源，其经组态以提供离子束；终端结构，其界定空腔，所述离子源至少部分地安置于所述空腔内；以及绝缘系统，其电绝缘所述终端结构，所述绝缘系统经组态以在接近所述终端结构的至少一个外表面的区域中提供大于72千伏/英寸的介电强度的至少一个固体绝缘物，该固体绝缘物包括基座、耦接至所述基座的一端的第一直立侧壁、耦接至所述基座的另一端的第二直立侧壁以及耦接至所述第一与第二直立侧壁的顶部，其中所述基座、所述第一与第二直立侧壁以及所述顶部接触所述终端结构的相关外表面。