| 发明名称 | A1基合金溅射靶材的制造方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种能够以高成品率制造含有稀土类元素、和熔点比Al高的高熔点元素的Al基合金溅射靶材的方法。本发明涉及Al基合金溅射靶材的制造方法，包括如下工序：准备由雾化法制造的含有稀土类元素的Al基合金的第一粉末的工序、将第一粉末和含有一种以上的熔点比Al高的高熔点元素X的第二粉末进行混合的工序、和使第一粉末和第二粉末的混合粉末致密化的工序，在所述混合工序中，第一粉末的最大粒径(a)为10～200μm，所述第二粉末的最大粒径(b)为10～150μm，所述第一粉末的最大粒径(a)和所述第二粉末的最大粒径(b)的比(a)/(b)为0.5～5。 | ||
| 申请公布号 | CN102057074A | 申请公布日期 | 2011.05.11 |
| 申请号 | CN200980121618.0 | 申请日期 | 2009.06.08 |
| 申请人 | 株式会社钢臂功科研;株式会社神户制钢所 | 发明人 | 得平雅也;松崎均;田内裕基;高木胜寿;岩崎祐纪;中井淳一 |
| 分类号 | C23C14/34(2006.01)I;B22F1/00(2006.01)I;B22F3/15(2006.01)I;B22F9/08(2006.01)I;C22C1/04(2006.01)I;C22C21/00(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/34(2006.01)I |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人 | 张宝荣 |
| 主权项 | 一种Al基合金溅射靶材的制造方法，所述Al基合金溅射靶材含有稀土类元素、和熔点比Al高的高熔点元素X，其特征在于，包括如下工序：准备由雾化法制造的含有稀土类元素的Al基合金的第一粉末的工序、将所述第一粉末和含有一种以上的所述高熔点元素X的第二粉末进行混合的工序、以及使所述第一粉末和所述第二粉末的混合粉末致密化的工序，在所述混合工序中，所述第一粉末的最大粒径a为10～200μm，所述第二粉末的最大粒径b为10～150μm，所述第一粉末的最大粒径a和所述第二粉末的最大粒径b的比a/b为0.5～5。 | ||
| 地址 | 日本国兵库县 | ||