| 发明名称 |
Thin film, method and apparatus for forming the same, and electronic component incorporating the same |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0808667(B1) |
申请公布日期 |
2011.05.11 |
| 申请号 |
EP19970108188 |
申请日期 |
1997.05.21 |
| 申请人 |
PANASONIC CORPORATION |
发明人 |
HONDA, KAZUYOSHI;ECHIGO, NORIYASU;ODAGIRI, MASARU;SUNAGARE, NOBUKI;TAKAHASHI, KIYOSHI |
| 分类号 |
B05B17/06;B05B9/00;B05B17/04;B05C9/14;B05D1/00;B05D1/28;B05D7/24;C23C14/24;C23C14/56;G11B5/64;G11B5/84;G11B5/85 |
主分类号 |
B05B17/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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