基板吸附单元及基板吸附总成

摘要

本发明提供一种基板吸附单元及基板吸附总成，用以吸附多个基板，其中基板吸附总成包含一固定框架以及多个基板吸附单元。各基板吸附单元相应各基板间隔地固设于固定框架上，其中各基板吸附单元可气体连通至一真空装置，其包含一本体及一吸附部。本体可气体连通至真空装置，吸附部具有多个吸附件，对称地设置于本体的一末端，并经由本体而气体连通至真空装置，用以均匀地吸附其中一基板。

主权项

一种基板吸附单元，其特征在于，包含：一本体，可气体连通至一真空装置；一吸附部，具有多个吸附件，对称地设置于该本体的一末端，并经由该本体而气体连通至该真空装置，用以均匀地吸附一基板；以及一缓冲件，设置于该本体内，用以缓冲该真空装置施加于该吸附部的一真空吸附冲力。