微机电激光扫描装置的二片式fθ镜片

摘要

一种微机电激光扫描装置的二片式fθ镜片，第一镜片为一双凸形镜片及第二镜片为一双凹形镜片所构成，其中第一镜片具有二个光学面，在主扫描方向至少有一个光学面为非球面所构成，第二镜片具有二个光学面，在主扫描方向至少有一个光学面为非球面所构成，主要将微机电反射镜反射的角度与时间为非线性关系的扫描光线光点转换成距离与时间为线性的扫描光线光点，并修正聚光于目标物上，且第一镜片及第二镜片均满足特定的光学条件，通过第一镜片及第二镜片的设置，可达成线性扫描效果与高分辨率扫描的目的。

主权项

一种微机电激光扫描装置的二片式fθ镜片，其适用于一微机电激光扫描装置，该微机电激光扫描装置至少包含一用以发射光束的光源、一用以共振左右摆动将光源发射的光束反射成为扫描光线的微机电反射镜、及一用以感光的目标物；该二片式fθ镜片包含，由该微机电反射镜依序起算，由一双凸形的第一镜片及一双凹形的第二镜片所构成，其中该第一镜片具有一第一光学面及一第二光学面，该第一光学面与该第二光学面在主扫描方向至少有一个光学面为非球面所构成，将该微机电反射镜反射的角度与时间非线性关系的扫描光线光点转换成距离与时间为线性关系的扫描光线光点；其中该第二镜片具有一第三光学面及一第四光学面，该第三光学面与该第四光学面在主扫描方向至少有一个光学面为非球面所构成，将该第一镜片的扫描光线修正聚光于该目标物上；通过该二片式fθ镜片将该微机电反射镜反射的扫描光线在该目标物上成像，其中，在主扫描方向进一步满足下列条件： 1.6 < d 3 + d 4 + d 5 f ( 1 ) Y < 2.5 ; - 2.0 < d 5 f ( 2 ) Y < - 1.0 , 其中，f(1)Y为该第一镜片在主扫描方向的焦距，f(2)Y为该第二镜片在主扫描方向的焦距，d3为θ＝0°时该第一镜片目标物侧光学面至该第二镜片微机电反射镜侧光学面的距离，d4为该第二镜片厚度，d5为θ＝0°时该第二镜片目标物侧光学面至该目标物的距离。