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发明名称 LINEAR GUIDE FOR A CLEAN ROOM
摘要
申请公布号 EP2318156(A1) 申请公布日期 2011.05.11
申请号 EP20090776658 申请日期 2009.05.28
申请人 ETEL S. A.. 发明人 VOLLUZ, PATRICK;PIAGET, GENTIEN;BORDAS, JEAN-YVES
分类号 B08B15/00;F16C29/00;F16C29/02;F16C29/08;F16C33/10;F16C33/66;H01L21/677 主分类号 B08B15/00
代理机构 代理人
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