发明名称 |
多层配线基板 |
摘要 |
本发明提供一种多层配线基板。多层配线基板(100)具有:第一配线区域(101),其中配线(103a)和绝缘层(104a,104b)交替地层叠;以及第二配线区域(102),其中相对于第一配线区域(101)的绝缘层的厚度H1,绝缘层(104)的厚度H2是2倍以上,并且相对于配线宽度W1,配线(103b)的宽度W2为2倍以上。第一配线区域(101)和第二配线区域(102)被一体地形成在同一基板上。 |
申请公布号 |
CN102057483A |
申请公布日期 |
2011.05.11 |
申请号 |
CN200980121220.7 |
申请日期 |
2009.05.22 |
申请人 |
国立大学法人东北大学;财团法人国际科学振兴财团 |
发明人 |
大见忠弘;须川成利;今井纮;寺本章伸 |
分类号 |
H01L23/12(2006.01)I;H01P3/08(2006.01)I;H05K3/46(2006.01)I |
主分类号 |
H01L23/12(2006.01)I |
代理机构 |
中科专利商标代理有限责任公司 11021 |
代理人 |
樊建中 |
主权项 |
一种多层配线基板,其特征在于,具有:第一配线区域,多个第一配线层隔着第一绝缘层而被层叠;以及第二配线区域,具有厚度为该第一绝缘层的厚度的2倍以上的第二绝缘层,并且将宽度为所述第一配线层的宽度的2倍以上的第二配线层设置在所述第二绝缘层上,所述第一配线区域和所述第二配线区域被一体地形成在同一基板上。 |
地址 |
日本国宫城县 |