在硅平台上实现AWG与LD倒装集成的方法

摘要

本发明公开了一种在硅平台上实现二氧化硅阵列波导光栅与激光器倒装集成的方法，包括如下步骤：步骤1：在硅片上制作对准标记和水平定位；步骤2：在硅片上制作出高度定位、凹槽和电极槽；步骤3：在电极槽中依次制作二氧化硅薄膜和Cr-Ni-Au电极；步骤4：在硅片上制作出AWG的倒装对准标记；步骤5：在倒装焊平台上将AWG倒装粘在硅平台上；步骤6：将LD根据定位标记倒装焊在硅平台上。利用本发明提供的这种在硅平台上实现AWG与LD倒装集成的方法，实现了LD和AWG的无源对准耦合，并且本发明具有制作工艺简单，可规模化生产、成本低等特点。

主权项

一种在硅平台上实现二氧化硅阵列波导光栅AWG与激光器LD倒装集成的方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤1：在硅片上制作对准标记和水平定位；步骤2：在硅片上制作出高度定位、凹槽和电极槽；步骤3：在电极槽中依次制作二氧化硅薄膜和Cr‑Ni‑Au电极；步骤4：在硅片上制作出AWG的倒装对准标记；步骤5：在倒装焊平台上将AWG倒装粘在硅平台上；步骤6：将LD根据定位标记倒装焊在硅平台上。