发明名称 |
一种微纳米热检测传感组件 |
摘要 |
本发明揭示了一种微纳米热检测传感组件,包括:加热并探测被测样品温度的热探针;在热探针检测时探测环境温度的参考探针;以磁力吸住热探针的底板,对热探针定位的磁性底座;隔离体,设置于磁性底座下方;定位器,采用压板结构,将热探针的引线压住,对热探针起辅助定位作用;输出连接体电路板,包括印刷线路板和连接器,印刷电路板与参考探针和热探针的输出端相连,连接器用于与外部检测桥路相连;测试支架,用于固定输出连接体电路板、磁性底座、隔离体和定位器。本发明具有检测灵敏度高、抗外部环境干扰强等特点,并可与商用原子力显微镜(AFM)完全兼容,原位获得被测样品的形貌像与热学像。其热成像分辨率达60纳米,优于同类国外产品。 |
申请公布号 |
CN102053171A |
申请公布日期 |
2011.05.11 |
申请号 |
CN200910198452.4 |
申请日期 |
2009.11.09 |
申请人 |
中国科学院上海硅酸盐研究所 |
发明人 |
曾华荣;殷庆瑞;惠森兴;赵坤宇;李国荣 |
分类号 |
G01Q60/24(2010.01)I;G01Q60/38(2010.01)I;G01N25/00(2006.01)I;G01N25/20(2006.01)I |
主分类号 |
G01Q60/24(2010.01)I |
代理机构 |
上海专利商标事务所有限公司 31100 |
代理人 |
郭蔚 |
主权项 |
一种微纳米热检测传感组件,用于原子力显微镜热成像系统,包括:热探针,用于加热并探测被测样品的温度;参考探针,设置在所述热探针一侧,用于在所述热探针检测时探测环境温度;磁性底座,设置在所述热探针底板下,以磁力吸住所述热探针的底板,对所述热探针定位;隔离体,设置于所述磁性底座下方;定位器,采用压板结构,将所述热探针的引线压住,对所述热探针起辅助定位作用;输出连接体电路板,包括印刷线路板和连接器,所述印刷电路板与所述参考探针和所述热探针的输出端相连,所述连接器用于与外部检测桥路相连。 |
地址 |
200050 上海市定西路1295号 |