| 发明名称 | 对砷化镓太阳电池帽层进行选择性腐蚀的化学腐蚀液 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种对砷化镓太阳电池帽层进行选择性腐蚀的化学腐蚀液，该化学腐蚀液的配比为1g固体柠檬酸与3～4ml的双氧水，实现了对Al组分为0.8～0.9的砷化镓太阳电池帽层Al0.8～0.9GaAs/GaAs的选择性腐蚀。本发明提供的这种对砷化镓太阳电池帽层进行选择性腐蚀的化学腐蚀液，具有高的选择性腐蚀，能够实现GaAs太阳电池帽层选择腐蚀的目的，并且腐蚀液配制方便，具有很好的重复性。 | ||
| 申请公布号 | CN102051179A | 申请公布日期 | 2011.05.11 |
| 申请号 | CN200910237097.7 | 申请日期 | 2009.11.04 |
| 申请人 | 中国科学院半导体研究所 | 发明人 | 刘雯;李越强;王晓东;陈燕凌;杨富华 |
| 分类号 | C09K13/00(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I | 主分类号 | C09K13/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人 | 周国城 |
| 主权项 | 一种对砷化镓太阳电池帽层进行选择性腐蚀的化学腐蚀液，其特征在于，该化学腐蚀液的配比为1g固体柠檬酸与3～4ml的双氧水，实现了对Al组分为0.8～0.9的砷化镓太阳电池帽层Al0.8～0.9GaAs/GaAs的选择性腐蚀。 | ||
| 地址 | 100083 北京市海淀区清华东路甲35号 | ||