热式流体流量传感器及其制造方法

摘要

本发明以提供一种低成本的热式流体流量传感器，所述热式流体流量传感器具有形成于同一基板上的空气流量检测部和湿度检测部，能够校正湿度且测量精度高。在形成于半导体基板上的薄膜(16)内配置检测空气流量的发热电阻体(3)、发热电阻体用测温电阻体(4)及测温电阻体(5)、以及湿度检测用发热电阻体(9)，在该湿度检测用发热电阻体(9)上形成空洞层(14)，在空洞层(14)上形成保护膜，在保护膜中设置有到达空洞层(14)的多个孔(13)。

主权项

一种热式流体流量传感器，所述热式流体流量传感器用于测量空气流量，其形成于基板上，具有湿度检测部和空气流量检测部，其特征在于，所述湿度检测部具有：第1发热电阻体、所述第1发热电阻体上方的空洞层、和形成于所述空洞层上的第1膜，所述空气流量检测部具有：第2发热电阻体、和多个测温电阻体，所述测温电阻体在与所述基板主面平行的面内以夹持所述第2发热电阻体的方式设置于所述第2发热电阻体的侧方，所述第1膜具有从所述第1膜上面到所述空洞层的多个孔。