一种重布线机构

摘要

本发明提供一种重布线机构，通过在测试焊盘区的开孔处设置重布线层，并在氮化层上形成第二氧化层，使随机存储器容易封装，且在芯片探针测试过程中，不会破坏顶层金属线，从而，随机存储器所在晶圆的良率不会很大程度的降低。

主权项

一种重布线机构包括：衬底；位于所述衬底上的测试焊盘和顶层金属线，在所述测试焊盘和顶层金属线之间、不同测试焊盘之间以及不同顶层金属线之间形成有层间空隙；在所述层间空隙、测试焊盘以及顶层金属线上，依次形成有第一氧化层、氮化层以及第二氧化层；对应所述测试焊盘，在所述第一氧化层、氮化层以及第二氧化层内形成有开孔，在所述开孔内形成有重布线层，所述重布线层延伸至所述第二氧化层上。