发明名称 用于测试半导体装置的电路和方法
摘要 一种用于测试半导体装置的电路,包括:配置用于响应于测试模式信号、将测试电压施加到穿透硅通孔(TSV)的第一端的测试电压施加单元,以及配置为连接到所述TSV的第二端并检测从所述TSV的第二端输出的电流的检测单元。
申请公布号 CN102053207A 申请公布日期 2011.05.11
申请号 CN201010001107.X 申请日期 2010.01.12
申请人 海力士半导体有限公司 发明人 崔珉硕;李锺天;边相镇;丘泳埈
分类号 G01R31/02(2006.01)I;G01R19/165(2006.01)I 主分类号 G01R31/02(2006.01)I
代理机构 北京弘权知识产权代理事务所(普通合伙) 11363 代理人 郭放;黄启行
主权项 一种用于测试半导体装置的电路,包括:测试电压施加单元,配置用于响应于测试模式信号将测试电压施加到穿透硅通孔TSV的第一端;以及检测单元,配置为连接到所述TSV的第二端,并且检测从所述TSV的第二端输出的电流。
地址 韩国京畿道
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