一种晶棒平磨抛光机

摘要

本发明涉及一种晶棒平磨抛光机，该抛光机的左右轨道设置在底座上，左右传动杆固定在底座或基座上，基座设置在左右轨道轴承上，左右轨道轴承设置在左右轨道上，且左右轨道轴承通过左右传动杆在左右轨道上移动；晶棒托架固设在前后轨道轴承上，前后传动杆固定在晶棒托架上或是固定在基座上，前后轨道轴承设置在前后轨道上，且前后轨道轴承通过前后传动杆在前后轨道上移动。采用本发明，只要将晶棒固定在晶棒托架上，并通过机械自动控制晶棒前后、左右移动，进行晶棒的抛光，可替代手工作业，且抛光效果好。

主权项

一种晶棒平磨抛光机，包括机架、抛光轮、底座、左右轨道、左右轨道轴承、左右传动杆、基座、前后轨道、前后轨道轴承、前后传动杆、晶棒托架和晶棒夹具；其中的抛光轮设置在机架上，机架固定在底座上，晶棒夹具设置在晶棒托架上；其特征在于左右轨道设置在底座上，左右传动杆固定在底座或基座上，基座设置在左右轨道轴承上，左右轨道轴承设置在左右轨道上，且左右轨道轴承通过左右传动杆在左右轨道上移动；晶棒托架固设在前后轨道轴承上，前后传动杆固定在晶棒托架上或是固定在基座上，前后轨道轴承设置在前后轨道上，且前后轨道轴承通过前后传动杆在前后轨道上移动。