一种复合型光子筛

摘要

本发明公开了一种复合型光子筛，含有透明介质、金属层及微细结构，在透明介质上镀上金属层，并在金属层上刻蚀出所需的微细结构，沿透明介质的半径由内至外的方向以微细加工最小线宽为依据，将透明介质划分为不同区域，所述区域包括波带区、第一个区域及第二个区域，第一个区域和第二个区域都具有多组微细结构，在第一个区域的两组微细结构之间设有波带区，每组微细结构是由不同半径的环带状分布、不同半径的多个小孔组成，每个区域中设有小孔孔径与对应环带带宽之间具有一比值k，波带区最外环带宽等于微细加工最小加工尺寸线宽，波带区最内环半径为其最外环半径的0.3～0.5倍。

主权项

一种复合型光子筛，其特征在于，所述光子筛含有透明介质、金属层及微细结构，在透明介质上镀上金属层，并在金属层上刻蚀出所需的微细结构，沿透明介质的半径由内至外的方向以微细加工最小线宽为依据，将透明介质划分为不同区域，所述区域包括波带区、第一个区域及第二个区域，第一个区域和第二个区域都具有多组微细结构，在第一个区域的两组微细结构之间设有波带区，每组微细结构是由不同半径的环带状分布、不同半径的多个小孔组成，每个区域中设有小孔孔径与对应环带带宽之间具有一比值k，波带区最外环带宽等于微细加工最小加工尺寸线宽，波带区最内环半径为其最外环半径的0.3～0.5倍。