| 发明名称 | 蓝宝石衬底及抛光方法与应用 | ||
| 摘要 | 本发明涉及半导体材料领域，公开了一种蓝宝石衬底及其抛光方法与应用，本发明的蓝宝石衬底表面抛光，且抛光表面具有随机无序的凹陷图案结构。本发明的蓝宝石衬底表面只有局部平坦化。这样的蓝宝石衬底大大降低了加工成本，增加了抛光效率。 | ||
| 申请公布号 | CN101604666B | 申请公布日期 | 2011.05.11 |
| 申请号 | CN200910053513.8 | 申请日期 | 2009.06.19 |
| 申请人 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | 发明人 | 胡晓凯;宋志棠;刘卫丽 |
| 分类号 | H01L23/00(2006.01)I;H01L21/304(2006.01)I;H01L21/306(2006.01)I | 主分类号 | H01L23/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海光华专利事务所 31219 | 代理人 | 许亦琳;余明伟 |
| 主权项 | 一种蓝宝石衬底，其表面抛光，且抛光表面具有随机无序的凹陷图案结构，其特征在于，所述蓝宝石衬底表面随机无序的凹陷图案结构中，图案凹陷处的横向尺寸为1‑50微米，纵向深度为100纳米‑5微米，凹陷部分占蓝宝石衬底表面积的20％‑80％。 | ||
| 地址 | 200050 上海市长宁区长宁路865号 | ||