发明名称 | 防尘薄膜组件剥离用夹具及剥离方法 | ||
摘要 | 本发明提供一种防尘薄膜组件剥离用夹具及剥离方法,该防尘薄膜组件剥离用夹具针对光罩具备固定构件,针对防尘薄膜组件具备粘接层,固定光罩与防尘薄膜组件相互之间的位置关系,在固定状态下将遮罩粘接层拉出并除去。本发明所述的简便的夹具以及剥离方法,能够以简易且安全的方式剥离贴附于光罩上的防尘薄膜组件。 | ||
申请公布号 | CN102053482A | 申请公布日期 | 2011.05.11 |
申请号 | CN201010225329.X | 申请日期 | 2010.07.12 |
申请人 | 信越化学工业株式会社 | 发明人 | 关原一敏 |
分类号 | G03F1/14(2006.01)I;H01L21/687(2006.01)I | 主分类号 | G03F1/14(2006.01)I |
代理机构 | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人 | 刘新宇;王璐 |
主权项 | 一种防尘薄膜组件剥离用夹具,其在从光罩将防尘薄膜组件剥离时使用,其特征为,包括:固定构件,其用来将该防尘薄膜组件剥离用夹具固定于该光罩上;以及粘接层,其用来将该防尘薄膜组件剥离用夹具固定于该防尘薄膜组件上。 | ||
地址 | 日本东京都 |