具有定位功能的载物台、包括该具有定位功能的载物台的处理装置和基板定位方法

摘要

本发明提供一种具有定位功能的载物台，该载物台即使在处理对象物重量大的情况下，也能够高精度并且容易地进行特别是θ方向的定位，且成本低。该具有定位功能的载物台具有暴露基板(S)处理面并保持基板(S)的载物台本体(4a)，还包括可自由地吸附在与所述的基板处理面相对的另外一面上的吸附装置(8)、向所述吸附装置上吸附位置以外的区域供给气体的气体供给装置(9)和向所述吸附装置施加旋转力使基板以所述吸附装置为旋转中心在同一平面内旋转的驱动装置(10)。

主权项

一种具有定位功能的载物台，包括暴露处理对象物的处理面并保持处理对象物的载物台本体，其特征在于：包括可自由吸附在与所述处理对象物的所述处理面相对的另一面上的吸附装置、向所述吸附装置上的吸附位置以外的区域供给气体的气体供给装置、对所述吸附装置进行旋转驱动以使所述处理对象物以所述吸附装置为旋转中心在同一平面内旋转的驱动装置。