| 主权项 |
一种硅片边缘膜厚测量方法，其特征在于，所述方法是在计算机中依次按以下步骤进行的：步骤(1)：计算机初始化；设定：电涡流传感器的直径用D表示，被测点x，为被测硅片水平方向直径上的点，取值范围为x0‑2D～x0之间，x0为被测硅片水平方向直径上的膜厚边缘点，Tm(x)为被测点x的测量膜厚值，Tr(x)为被测点x的实际膜厚值，d为膜厚测量修正系数，与所述电涡流传感器尺寸、形状、工作距离等参数相关，待标定；步骤(2)：确定所述膜厚测量修正系数d；步骤(2.1)：使用长度测量仪器测出被测点x的值，以及x0的值；步骤(2.2)：采用四点探针法测量出所述被测点x处硅片的实际厚度值Tr(x)；步骤(2.3)：采用所述的电涡流传感器测出所述被测点x处的膜厚测量值Tm(x)；步骤(2.4)：把步骤(2.1)到步骤(2.3)得到的x值、Tr(x)值和Tm(x)值输入所述计算机，按下式求出所述膜厚修正系数，用d表示： <mrow> <msub> <mi>T</mi> <mi>r</mi> </msub> <mrow> <mo>(</mo> <mi>x</mi> <mo>)</mo> </mrow> <mo>=</mo> <mfrac> <mrow> <msup> <mi>e</mi> <mfrac> <mrow> <msub> <mi>x</mi> <mn>0</mn> </msub> <mo>-</mo> <mi>x</mi> </mrow> <mi>d</mi> </mfrac> </msup> <mo>+</mo> <msup> <mi>e</mi> <mfrac> <mrow> <mi>x</mi> <mo>-</mo> <msub> <mi>x</mi> <mn>0</mn> </msub> </mrow> <mi>d</mi> </mfrac> </msup> </mrow> <mrow> <msup> <mi>e</mi> <mfrac> <mrow> <msub> <mi>x</mi> <mn>0</mn> </msub> <mo>-</mo> <mi>x</mi> </mrow> <mi>d</mi> </mfrac> </msup> <mo>-</mo> <msup> <mi>e</mi> <mfrac> <mrow> <mi>x</mi> <mo>-</mo> <msub> <mi>x</mi> <mn>0</mn> </msub> </mrow> <mi>d</mi> </mfrac> </msup> </mrow> </mfrac> <mo>·</mo> <msub> <mi>T</mi> <mi>m</mi> </msub> <mrow> <mo>(</mo> <mi>x</mi> <mo>)</mo> </mrow> <mo>,</mo> </mrow>步骤(3)：按照设定的采样质点，所述电涡流传感器沿着点x0‑2D～x0的方向逐点测量各采样点x上的膜厚测量值Tm(x)；步骤(4)：把步骤(3)得到的各采样点x上的膜厚测量值逐个代入下式，求出对应的实际厚度值Tr(x)： <mrow> <msub> <mi>T</mi> <mi>r</mi> </msub> <mrow> <mo>(</mo> <mi>x</mi> <mo>)</mo> </mrow> <mo>=</mo> <mfrac> <mrow> <msup> <mi>e</mi> <mfrac> <mrow> <msub> <mi>x</mi> <mn>0</mn> </msub> <mo>-</mo> <mi>x</mi> </mrow> <mi>d</mi> </mfrac> </msup> <mo>+</mo> <msup> <mi>e</mi> <mfrac> <mrow> <mi>x</mi> <mo>-</mo> <msub> <mi>x</mi> <mn>0</mn> </msub> </mrow> <mi>d</mi> </mfrac> </msup> </mrow> <mrow> <msup> <mi>e</mi> <mfrac> <mrow> <msub> <mi>x</mi> <mn>0</mn> </msub> <mo>-</mo> <mi>x</mi> </mrow> <mi>d</mi> </mfrac> </msup> <mo>-</mo> <msup> <mi>e</mi> <mfrac> <mrow> <mi>x</mi> <mo>-</mo> <msub> <mi>x</mi> <mn>0</mn> </msub> </mrow> <mi>d</mi> </mfrac> </msup> </mrow> </mfrac> <mo>·</mo> <msub> <mi>T</mi> <mi>m</mi> </msub> <mrow> <mo>(</mo> <mi>x</mi> <mo>)</mo> </mrow> <mo>,</mo> </mrow>其中，膜厚修正系数d采用步骤(2.4)得到的值。 |
