具有可调相线圈组件的双模电感耦合等离子体反应器

摘要

本发明提供双模电感耦合等离子体反应器及其使用方法。在一些实施方式中，双模电感耦合等离子体处理系统可包括处理腔室，该处理腔室具有介质盖和设置在该介质盖上方的等离子体源组件。该等离子体源组件包括多个线圈，该线圈配置为将RF能量感应耦合至处理腔室以在其中形成并维持等离子体，用于调整施加给该多个线圈中每个线圈的RF电流的相对相的相控制器，以及耦合至该相控制器和该多个线圈的RF产生器。

主权项

一种双模电感耦合等离子体处理系统，包括：具有介质盖的处理腔室；和设置在该介质盖上方的等离子体源组件，该等离子体源组件包括：多个线圈，配置为用于将RF能量感应耦合至该处理腔室中以在该处理腔室中形成并维持等离子体；耦合该多个线圈的相控制器，用于控制施加至该多个线圈中每个线圈的RF电流的相对相；和耦合至该相控制器的RF产生器。