供气管路系统

摘要

一供气管路系统包含一供气管路、净化管路、排气管路相互连通接续于一用气设施的供应端。并含有一可程式化控制器自动控制上述管路中的阀件开闭。供器管路含有高压供气阀、低压供气阀、旁路高压供气阀、及旁路低压供气阀可将接续于供气管路外端的气体供应至用气设施。该净化管路含有一净化阀、高压净化阀、低压净化阀、及一净化手动阀。该排气管路含有一文氏管、高压泄压阀、低压泄压阀、真空隔绝阀、及一真空产生阀。经由可程式化控制器自动控制各阀件的开闭可将供器管路局部进行净化，可避免外部气体供应端接续或脱离时污染外界或影响供气纯净度。

主权项

一种供气管路系统，其特征在于包含：一个供气管路，该供气管路有一外侧管路供一外部供应端的隔绝阀接续，外侧管路往用气设备端延伸有并联的主供应管路及旁路；该主供应管路设有高压供气阀及低压供气阀；该旁路设有旁路高压供气阀及旁路低压供气阀，该主供应管路与旁路会合后形成设备接续管路，并设有设备隔绝阀；一个净化管路，该净化管路接续于供气管路的外侧管路并设有净化隔绝阀；该净化管路延伸有并联的高压管路与低压管路；该高压管路连接高压氮气钢瓶并设有高压入口阀，该低压管路连接高纯度氮气供应端并设有低压入口阀及低压隔绝阀；一个排气管路，分别有接续于供器管路的外侧管路的高压排气管及接续于主供应管路的高、低压供气阀间的低压排气管路；该高压排气管设有高压排气阀，该低压排气管路设有低压排气阀；该高、低压排气管汇合后连接一个真空隔绝阀及一个文氏管；一个真空供应管设有一个真空供应阀连接于该文氏管，一个排气管也连接于该文氏管；一个可程式化控制器，其至少连接于该供器管路的高压供气阀、低压供气阀，净化管路的净化隔绝阀、高压入口阀、低压入口阀、低压隔绝阀，以及排气管路的高压排气阀、低压排气阀、及真空供应阀，借以控制该些阀件的开闭。