发明名称 |
超低频振动计量器具校准系统及其激光干涉仪 |
摘要 |
本实用新型公开了一种适于在超低频振动计量器具校准系统中使用的激光干涉仪,所述超低频振动计量器具校准系统还包括用于产生超低频振动的振动台,该激光干涉仪包括平面反射镜,其中所述激光干涉仪发射到所述振动台上的测量光由所述平面反射镜进行反射。另外,本实用新型还公开了采用该激光干涉仪的超低频振动计量器具校准系统。 |
申请公布号 |
CN201828334U |
申请公布日期 |
2011.05.11 |
申请号 |
CN201020543402.3 |
申请日期 |
2010.09.26 |
申请人 |
中国计量科学研究院;浙江大学 |
发明人 |
于梅;刘爱东;马明德;左爱斌;杨丽峰;胡红波;何闻 |
分类号 |
G01H17/00(2006.01)I;G01H9/00(2006.01)I;G02B7/182(2006.01)I |
主分类号 |
G01H17/00(2006.01)I |
代理机构 |
中国专利代理(香港)有限公司 72001 |
代理人 |
谢建云;刘鹏 |
主权项 |
一种适于在超低频振动计量器具校准系统中使用的激光干涉仪,所述超低频振动计量器具校准系统还包括用于产生超低频振动的振动台,其特征在于,该激光干涉仪包括:平面反射镜,其中所述激光干涉仪发射到所述振动台上的测量光由所述平面反射镜进行反射。 |
地址 |
100013 北京市北三环东路18号 |