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发明名称
摘要
申请公布号 JP4681117(B2) 申请公布日期 2011.05.11
申请号 JP20000526963 申请日期 1998.11.02
申请人 发明人
分类号 H01L21/28;C23C14/02;C23C16/02;H01L21/285;H01L21/302;H01L21/304;H01L21/3065;H01L21/768 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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