发明名称 | 抗反射涂层组合物 | ||
摘要 | 本发明公开了抗反射涂层组合物和有关的聚合物。 | ||
申请公布号 | CN102056969A | 申请公布日期 | 2011.05.11 |
申请号 | CN200980120772.6 | 申请日期 | 2009.04.29 |
申请人 | AZ电子材料美国公司 | 发明人 | 姚晖蓉;向中;单槛会;S·穆兰;吴恒鹏 |
分类号 | C08J5/18(2006.01)I;C08J7/00(2006.01)I;C08L67/00(2006.01)I;C09D5/00(2006.01)I;C09D167/00(2006.01)I | 主分类号 | C08J5/18(2006.01)I |
代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人 | 宓霞 |
主权项 | 一种抗反射涂层组合物,包括不含芳族发色团的聚合物、酸产生剂和任选的交联剂,其中该聚合物包括衍生自二酸、三酸、二酸酐或它的相应的四酸或前述化合物的混合物的结构单元和衍生自二醇、二硫醇、三醇、三硫醇、含二环氧的化合物、含三环氧的化合物或前述化合物的混合物的结构单元,其中所述二醇、二硫醇、三醇、三硫醇、含二环氧的化合物或含三环氧的化合物含有一个或多个氮和/或硫原子或含有一个或多个亚烷基。 | ||
地址 | 美国新泽西 |