太阳能集热管管芯的选择性涂层设备

摘要

一种太阳能集热管管芯的选择性涂层设备，属于太阳能应用领域。这种太阳能集热管管芯的选择性涂层设备采用射频磁控溅射、中频磁控溅射和直流磁控溅射技术，既适合氧化物金属陶瓷膜系，也适合金属氮化物陶瓷的金属陶瓷膜系。还有加热系统和与真空室绝缘的工件转架，实现金属管工件公转和自转，制备金属陶瓷太阳能选择性吸收涂层。在真空室和转架之间设置偏压系统，实施太阳能金属管的真空加热脱附、和等离子体清洗，保证涂层具有良好结合力。该金属陶瓷涂层设备可生产标准长度为4060毫米的太阳能集热管，涂层通常采用金属W（Mo）/AlN或W（Mo）/SiO2，Mo（W）/（Al2O3）多层复合梯度薄膜，获得高吸收率和红外低发射率。

主权项

一种太阳能集热管管芯的选择性涂层设备，它主要包括一个真空室和一个真空系统，真空室与真空系统通过管道连接在一起，镀膜不锈钢管（4）安装在真空室中的由外置电机驱动的转架机构上；其特征在于：它还包括安装在所述真空室上的金属磁控溅射源和射频磁控溅射靶；所述真空室内设有加热器（5）、柱状磁控溅射靶（6）、测温热电偶（14）、膜厚测试仪（15）；所述真空系统经一个高阀（16）与真空室连接，高阀（16）的出口设有预抽阀（19），预抽阀（19）的出口一路经旁通阀（20）连接机械泵（22）和罗茨泵（21），另一路经前级阀（18）连接分子泵（17），预抽阀（19）的出口还直接连接罗茨泵（21）。