发明名称 量子阱红外探测器材料结构的模拟设计方法
摘要 量子阱红外探测器材料结构的模拟设计方法,它涉及一种量子阱红外探测器材料结构的设计方法。针对采用常规量子阱红外探测器材料的分子束外延方法,材料生长速率慢、成本高、不宜对外延生长工艺做大量调整和实时优化问题。方法是:建立物理模型、求解特征能级和波函数、求解总电子密度、利用泊松方程求解新的静电势能、静电势能判断、输出结果、预制微扰自洽迭代。量子阱探测器的结构设计包含了势阱厚度、势垒厚度、势垒高度(铝的含量)、掺杂浓度及总周期数等参数,本发明能结合特定探测器性能要求,综合考虑各种因素确定所需生长的具体的量子阱红外探测器材料,并具有材料生长速率快、成本低、适宜对外延生长工艺做大量调整和实时优化的优点。
申请公布号 CN101571886B 申请公布日期 2011.05.11
申请号 CN200910072263.2 申请日期 2009.06.12
申请人 哈尔滨工业大学 发明人 李美成;张森;熊敏;陈雪飞
分类号 G06F17/50(2006.01)I;H01L31/101(2006.01)I 主分类号 G06F17/50(2006.01)I
代理机构 哈尔滨市松花江专利商标事务所 23109 代理人 徐爱萍
主权项 1.一种量子阱红外探测器材料结构的模拟设计方法,其特征在于:所述方法是这样实现的:步骤一、建立物理模型:选择量子阱的结构参数,即势阱厚度L<sub>w</sub>的范围是2nm~6nm;势垒厚度L<sub>B</sub>的范围是20nm~60nm;势垒中铝的组分x<sub>Al</sub>的范围是0.1~0.6;Si掺杂浓度N<sub>D</sub>的范围是1×10<sup>17</sup>cm<sup>-3</sup>~4×10<sup>18</sup>cm<sup>-3</sup>;总周期数N的范围是5~100及工作温度T的范围是0K~350K,建立沿着材料生长方向的导带能级Ec的函数:<img file="FSB00000345583800011.GIF" wi="1956" he="304" />其中n=1,2,…,N;步骤二、求解特征能级E<sub>i</sub>和波函数Ψ<sub>i</sub>,其中i为子带能级的序数:将导带能级Ec带入到势函数V中,即:V=E<sub>c</sub>-eΦ        (2)其中:e为核电荷数;Φ为静电势能,初始值设为0;然后将V带入到薛定谔方程中,即:<img file="FSB00000345583800012.GIF" wi="1245" he="160" />其中m<sup>*</sup>为有效质量、<img file="FSB00000345583800013.GIF" wi="29" he="44" />为普朗克常数、z为材料生长方向;步骤三、求解总电子密度n<sub>q</sub>(Φ):为了计算得到总电子密度n<sub>q</sub>(Φ),需要计算每个能级上的电子密度并求和,将步骤二中得到的特征能级E<sub>i</sub>和波函数Ψ<sub>i</sub>带入下式: <img file="FSB00000345583800021.GIF" wi="1468" he="243" />其中:k<sub>B</sub>为波尔兹曼常数;T为工作温度;π为圆周率;E<sub>f</sub>为费米能级,E<sub>f</sub>通过电流连续方程得出;步骤四、求解新的静电势能Φ’:将经步骤三计算得到的总电子密度n<sub>q</sub>(Φ)带入到泊松方程中,即:<img file="FSB00000345583800022.GIF" wi="1438" he="114" />得到新的静电势能Φ’,其中ε为介电常数;步骤五、静电势能判断:如果‖Φ′-Φ‖=0成立,说明静电势能保持稳定,继续下一步骤六;如果‖Φ′-Φ‖=0不成立,则跳到步骤七;步骤六、输出结果:最后得到设计结构的总电子密度n<sub>q</sub>(Φ)、特征能级E<sub>i</sub>和波函数Ψ<sub>i</sub>;步骤七、预制微扰自洽迭代:具体过程如下:7.1预制微扰计算新的总电子密度n<sup>k</sup><sub>q</sub>,k代表微扰:<img file="FSB00000345583800023.GIF" wi="1451" he="219" />7.2求解泊松方程:<img file="FSB00000345583800024.GIF" wi="1349" he="151" />得到新的微扰静电势能Φ<sup>k</sup>;7.3微扰静电势能判断:如果qΔΦ=q(Φ<sup>k</sup>-Φ)=0成立,回调到步骤二,同时Φ<sup>k</sup>替换成Φ;如果qΔΦ=q(Φ<sup>k</sup>-Φ)=0不成立跳回到步骤7.1,同时Φ被替换成Φ’,Φ’被替换成Φ<sup>k</sup>。 
地址 150001 黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号