发明名称 TURBOMOLECULAR PUMP
摘要
申请公布号 EP1377752(B1) 申请公布日期 2011.05.11
申请号 EP20020727419 申请日期 2002.03.15
申请人 OERLIKON LEYBOLD VACUUM GMBH 发明人 BLUMENTHAL, ROLAND DR.;ODENDAHL, HEINZ-DIETER;BOHRY, DIETER
分类号 F04D19/04;F04D27/00;F04D29/00 主分类号 F04D19/04
代理机构 代理人
主权项
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