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经营范围
发明名称
TURBOMOLECULAR PUMP
摘要
申请公布号
EP1377752(B1)
申请公布日期
2011.05.11
申请号
EP20020727419
申请日期
2002.03.15
申请人
OERLIKON LEYBOLD VACUUM GMBH
发明人
BLUMENTHAL, ROLAND DR.;ODENDAHL, HEINZ-DIETER;BOHRY, DIETER
分类号
F04D19/04;F04D27/00;F04D29/00
主分类号
F04D19/04
代理机构
代理人
主权项
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