| 发明名称 |
STICTION MITIGATION WITH INTEGRATED MECH MICRO-CANTILEVERS THROUGH VERTICAL STRESS GRADIENT CONTROL |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP2318876(A1) |
申请公布日期 |
2011.05.11 |
| 申请号 |
EP20090790246 |
申请日期 |
2009.07.09 |
| 申请人 |
QUALCOMM MEMS TECHNOLOGIES, INC. |
发明人 |
TUNG, YEH-JIUN |
| 分类号 |
G02B26/00;B81B3/00;G02B26/08 |
主分类号 |
G02B26/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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