| 摘要 |
1. Способ нанесения на лопатки ГТД покрытий, стойких к износу, эрозии, коррозии и высоким температурам путем осаждения чередующихся многослойных покрытий из различных металлов и их нитридов с очисткой поверхности лопаток ионами аргона и ионной имплантацией в процессе осаждения, отличающийся тем, что предварительно лопатки полируют, очищают в ультразвуковой ванне, а очистку ионами аргона осуществляют газовой плазмой с характеристиками потенциала смещения, выраженными короткоимпульсным, высокочастотным и высоковольтным отрицательным потенциалом, после окончания ионной очистки меняют плазму аргона на плазму азота и осуществляют ионную имплантацию азота в поверхностный слой лопаток при тех же характеристиках потенциала смещения, далее прерывают формирование плазмы азота, формируют плазму титана, очищают ее от микрочастиц и подают на лопатки потенциал смещения с теми же высокочастотными характеристиками, обеспечивая имплантацию ионов титана в поверхностный слой, и разогрев лопаток, при достижении лопатками температуры, необходимой для осаждения покрытия, и снижением потенциала смещения осаждают на лопатки подслой титана, затем вновь формируют плазму азота и наносят слой нитрида титана, после чего формируют титан-алюминиевую плазму, очищают ее от микрочастиц, и осаждают на лопатки многослойное, чередующееся по составу покрытие, состоящее из слоев нитрида титана и нитрида титан-алюминия. ! 2. Способ по п.1, отличающийся тем, что очистку ионами аргона осуществляют при давлении 1-2 Па подачей отрицательного короткоимпульсного, высокочастотного потенциала смещения длительностью до 5 мкс с коэффициентом за |
