| 摘要 |
Устройство для формирования чувствительного и/или мембранного слоев газового сенсора, снабженное источником импульсного питания для электровзрывного диспергирования проводников, содержащее диэлектрическую втулку, закрытую с торцов соосно фланцами с электродами по оси, между которыми натягивается проволочка из наносимого металла, отличающееся тем, что, с целью повышения поверхностной равномерности удельной плотности наносимого материала, определяемой по оценочной формуле β=0,125q·d2/r, г/см2, где β - поверхностная удельная плотность наносимого материала, г/см2, q - удельная плотность материала проволочки, г/см3, d - диаметр проволочки, см, r - средний диаметр окружности размещения чипов, см, производительности технологического процесса и, как следствие, экономичности; втулка изготавливается с пазами, равномерно расположенными вокруг взрываемой проволочки, вдоль ее длины, имеющими уступы, на которых устанавливают подготовленные микротехнологией чипы с сенсорами, чувствительными поверхностями и/или мембранным слоем обращенными к взрываемой проволочке. |
