发明名称 space transformer of probe card for electrical tester of semiconductor wafer and manufacturing method therefor
摘要
申请公布号 KR101033400(B1) 申请公布日期 2011.05.09
申请号 KR20090050103 申请日期 2009.06.05
申请人 发明人
分类号 H01L21/66;G01R1/067 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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