| 发明名称 |
Verfahren und Vorrichtung zur Detektion von Rissen in Halbleitersubstraten |
| 摘要 |
<p>Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Detektion von Rissen in Halbleitersubsas Verfahren und die Vorrichtung basieren auf der Erfassung von an einem Riss abgelenktem Licht.</p> |
| 申请公布号 |
DE102009050711(A1) |
申请公布日期 |
2011.05.05 |
| 申请号 |
DE20091050711 |
申请日期 |
2009.10.26 |
| 申请人 |
SCHOTT AG |
发明人 |
ORTNER, ANDREAS;GERSTNER, KLAUS;VON CAMPE, HILMAR |
| 分类号 |
G01N21/95;G01B11/14;G01B11/24 |
主分类号 |
G01N21/95 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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