PRESSURE SENSOR, ESPECIALLY DIFFERENTIAL PRESSURE SENSOR, AND METHOD FOR PREPARING A MEMBRANE BED FOR SUCH A SENSOR

摘要

Drucksensor, umfassend mindestens einen Grundkörper, mindestens eine Messmembran, und einen Wandler, wobei die Messmembran insbesondere ein Halbleitermaterial aufweist, wobei die Messmembran unter Einschluss einer Druckkammer an dem Grundkörper befestigt ist, wobei die Messmembran mit mindestens einem Druck beaufschlagbar ist und druckabhängig elastisch verformbar ist, wobei der Wandler ein von der Verformung der Messmembran abhängiges elektrisches Signal bereitstellt, wobei der Grundkörper ein Membranbett aufweist, an welchem die Messmembran im Falle einer Überlast anliegt, wodurch die Messmembran abgestützt wird, wobei das Membranbett eine asphärische, in ihrem Zentrum konkave Kontur aufweist, die geeignet ist, die Messmembran im Falle einer Überlast abzustützen, wobei die Kontur des Membranbetts erhältlich ist durch einebnende Oberflächenbearbeitung einer elastisch vorgespannten, gebogenen Scheibe und anschließendes Relaxierenlassen der Scheibe.