| 摘要 |
Die Erfindung betrifft einen CVD-Reaktor mit mindestens einem von einem Substrathalterträger (1) auf einen dynamischen Gaspolster (19) getragenen Substrathalter (2), der von der Rückseite her mit einer Heizung (30) beheizbar ist. Damit sich auf der Substrathalteroberfläche ein konvexes oder konkaves Temperaturprofil erzeugen lässt, wird vorgeschlagen, dass das Gaspolster (19) mehrere aneinandergrenzende Zonen (A, C) aufweist, die von individuellen Gaszuleitungen (7, 8) gespeist werden. |
