Katadioptrisches Projektionsobjektiv mit einer reflektiven optischen Komponente und einer Messeinrichtung

摘要

Die Erfindung betrifft ein katadioptrisches Projektionsobjektiv zur Abbildung eines Objektfeldes auf ein Bildfeld mittels einer Abbildungsstrahlung. Dabei umfasst das Projektionsobjektiv mindestens eine reflektive optische Komponente und eine Messeinrichtung, wobei die reflektive optische Komponente während des Betriebs des Projektionsobjektivs einen ersten Teil der Abbildungsstrahlung reflektiert und einen zweiten Teil der Abbildungsstrahlung transmittiert. Während der reflektierte, erste Teil der Abbildungsstrahlung zumindest teilweise zur Abbildung des Objektfeldes beiträgt, wird der transmittierte, zweite Teil der Abbildungsstrahlung zumindest teilweise einer Messeinrichtung zugeführt. Hierdurch wird eine gleichzeitige Belichtung der photosensitiven Schicht am Ort des Bildfeldes mit der Abbildungsstrahlung und eine Überwachung dieser Abbildungsstrahlung mit Hilfe der Messeinrichtung ermöglicht.