| 发明名称 | 气体传感气室 | ||
| 摘要 | 一种气体传感气室，包括：一圆筒形气腔，其中间段镂空，在圆柱的壁面形成三个矩形开口；一前盖，该前盖为圆盘形状，该前盖盖合于圆柱套型气腔的一端；一后盖，该后盖为圆盘形状，该后盖盖合于圆筒形气腔的另一端。 | ||
| 申请公布号 | CN102042958A | 申请公布日期 | 2011.05.04 |
| 申请号 | CN200910236387.X | 申请日期 | 2009.10.21 |
| 申请人 | 中国科学院半导体研究所 | 发明人 | 鞠昱;王欣;孙可;袁海庆;谢亮;祝宁华 |
| 分类号 | G01N21/17(2006.01)I;G01N21/01(2006.01)I | 主分类号 | G01N21/17(2006.01)I |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人 | 汤保平 |
| 主权项 | 一种气体传感气室，包括：一圆筒形气腔，其中间段镂空，在圆柱的壁面形成三个矩形开口；一前盖，该前盖为圆盘形状，该前盖盖合于圆柱套型气腔的一端；一后盖，该后盖为圆盘形状，该后盖盖合于圆筒形气腔的另一端。 | ||
| 地址 | 100083 北京市海淀区清华东路甲35号 | ||