处理装置及处理方法

摘要

本发明公开了一种使向处理室输入、输出工件的操作效率化并提高工件的处理效率的处理装置及处理方法。在具有设置有第一供给排出口与第二供给排出口的处理室(10)的处理装置中，包括：第一输送机构，进行经由所述第一供给排出口供给排出工件(30)的操作；第二输送机构，进行经由所述第二供给排出口供给排出工件(30)的操作；交换单元，将通过所述第一输送机构输入并处理后的工件(30a)转移至所述第二输送机构，并将通过所述第二输送机构输入并处理后的工件(32a)转移至所述第一输送机构；以及控制部(22)，驱动所述第一输送机构和所述第二输送机构，从所述第一供给排出口与所述第二供给排出口交替地将未处理的工件提供给所述处理室加以处理。

主权项

一种处理装置，具有设置有第一供给排出口和第二供给排出口的处理室，所述第一供给排出口与所述第二供给排出口分别用于未处理的工件的输入以及处理后的工件的输出，所述处理装置的特征在于，包括：第一输送机构，进行经由所述第一供给排出口将未处理的工件输入至所述处理室的操作和从所述处理室输出处理后的工件的操作；第二输送机构，进行经由所述第二供给排出口将未处理的工件输入至所述处理室的操作和从所述处理室输出处理后的工件的操作；交换单元，将通过所述第一输送机构输入至所述处理室并进行了处理的工件转移至所述第二输送机构，并将通过所述第二输送机构输入至所述处理室并进行了处理的工件转移至所述第一输送机构；以及控制部，控制所述第一输送机构、所述第二输送机构和所述交换单元，并交替进行所述第一供给排出口和所述第二供给排出口中的工件的供给排出操作。