一种清洁装置及带清洁装置的排气装置

摘要

本实用新型公开了一种清洁装置，所述清洁装置包括多组喷水装置，其中，每组喷水装置包括第一喷洒装置及第二喷洒装置，所述第一喷洒装置与所述第二喷洒装置之间具有一夹角，使得所述第一喷洒装置与所述第二喷洒装置的喷洒区域有交叠，从而使得清洗更彻底；同时本实用新型还提供一种排气装置，所述排气装置带有清洁装置，所述清洁装置定期清洗所述排气装置内残留的化学雾气，防止其在所述排气装置的内壁上结晶，保证了排气的效率，并且所述排气装置上设有多个进气口，其中每个进气口与一个半导体制造机台连接，从而使得多个半导体制造机台可共同使用一个排气装置，减少了半导体加工厂的排气装置，简化了管路，节约了资源。

主权项

一种清洁装置，其特征在于，包括清洁管道、第一充气阀以及多组喷水装置，所述清洁管道与一供水装置相连；所述多组喷水装置均匀设置于所述清洁管道上，且所述多组喷水装置中的每组喷水装置与所述清洁管道相通；所述第一充气阀设置在所述清洁管道上，位于所述供水装置与所述多组喷水装置之间。