| 发明名称 | 制造具有光捕获特征的TCO衬底的工艺及其装置 | ||
| 摘要 | 本发明描述一种制造具有光捕获特征的透明传导氧化物(TCO)衬底的新工艺及其装置。所述工艺包括：在衬底上形成金属层；使所述金属层退火，使得金属元素自聚集，从而形成多个岛状结构金属突起；以及在所述岛状结构金属突起和所述衬底上形成透明传导氧化物层。 | ||
| 申请公布号 | CN102044593A | 申请公布日期 | 2011.05.04 |
| 申请号 | CN201010504366.4 | 申请日期 | 2010.10.11 |
| 申请人 | 杜邦太阳能有限公司 | 发明人 | 林于庭;黄士哲;徐文凯 |
| 分类号 | H01L31/18(2006.01)I;H01L31/04(2006.01)I;H01L31/0224(2006.01)I | 主分类号 | H01L31/18(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人 | 刘国伟 |
| 主权项 | 一种制造具有光捕获特征的透明传导氧化物(TCO)衬底的工艺，其包括：在衬底上形成金属层；使所述金属层退火，使得所述金属层的金属元素自聚集，从而形成多个岛状结构金属突起；以及在所述岛状结构金属突起和所述衬底上形成透明传导氧化物层。 | ||
| 地址 | 中国香港新界白石角香港科学园科技大道西8号尚湖楼西5楼501-509 | ||