发明名称 |
一种倒装焊LED芯片结构及其制作方法 |
摘要 |
一种倒装焊LED芯片结构及其制备方法,所述LED芯片包括以蓝宝石为衬底的外延层和以SiO2/Si为衬底的电极层;蓝宝石衬底的正面刻蚀有周期性结构的孔,背面刻蚀有随机图案;刻蚀有孔的蓝宝石衬底上依次生长缓冲层bufferlayer、n型GaN层n-GaN、多量子阱层MQWs和p型GaN层p-GaN作为外延层,所述p型GaN层p-GaN上刻蚀有一个或多个阴极电极槽,p型GaN层p-GaN上溅镀有p型接触层,刻蚀后露出的n型GaN层n-GaN上电镀有n型欧姆接触层,所述SiO2/Si衬底上依次沉积的钛Ti、铂Pt和金Au作为电极层,电极层上的电极层分布与刻蚀后的外延层上的电极分布一致;通过金Au焊料将蓝宝石衬底正面的外延层和SiO2/Si衬底上电极层进行粘结构成LED芯片。本结构性能稳定,电能利用率更高,使用寿命更长。 |
申请公布号 |
CN102044608A |
申请公布日期 |
2011.05.04 |
申请号 |
CN201010547679.8 |
申请日期 |
2010.11.17 |
申请人 |
重庆大学 |
发明人 |
杜晓晴;钟广明;田健;李小涛;唐杰灵 |
分类号 |
H01L33/20(2010.01)I;H01L33/22(2010.01)I;H01L33/38(2010.01)I;H01L33/46(2010.01)I;H01L33/00(2010.01)I |
主分类号 |
H01L33/20(2010.01)I |
代理机构 |
重庆博凯知识产权代理有限公司 50212 |
代理人 |
张先芸 |
主权项 |
一种倒装焊LED芯片结构,其特征在于,所述LED芯片包括以蓝宝石为衬底的外延层和以SiO2/Si为衬底的电极层;所述蓝宝石衬底的正面刻蚀有周期性结构的孔(1),背面刻蚀有随机图案;所述刻蚀有孔的蓝宝石衬底正面上生长有外延层,所述外延层的结构依次为:缓冲层buffer layer、n型GaN层n‑GaN、多量子阱层MQWs和p型GaN层p‑GaN;所述p型GaN层p‑GaN上刻蚀有阴极电极槽,未刻蚀的p型GaN层p‑GaN作为阳极电极槽,刻蚀后露出的n型GaN层n‑GaN为阴极电极槽;作为阳极电极槽的p型GaN层p‑GaN上溅镀有p型接触层,所述p型接触层为依次溅镀的粘连层ITO、阻隔层Ni和反射层Ag;所述作为阴极电极槽的n型GaN层n‑GaN上电镀有n型欧姆接触层,所述n型欧姆接触层为在阴极电极槽内电镀的Ti/Al/Ti/Au合金;所述SiO2/Si衬底上的电极层为SiO2/Si衬底上依次沉积的钛Ti、铂Pt和金Au,电极层上的电极分布与刻蚀后的外延层上电极分布一致;通过金Au焊料将蓝宝石衬底正面的外延层和SiO2/Si衬底上电极层进行粘结,构成LED芯片。 |
地址 |
400044 重庆市沙坪坝区沙正街174号 |