发明名称 |
制造单晶锭的系统 |
摘要 |
本实用新型公开了一种制造单晶锭的系统,所述系统包括:上炉体;下炉体,所述下炉体与所述上炉体相配合以形成炉体空间;坩埚,所述坩埚设置在炉体空间内并被构造成容纳籽晶和给料;至少一个加热器;坩埚支座,用于对所述坩埚进行支撑;隔热部件;以及温度控制单元,所述温度控制单元设置在所述坩埚支座之下,用于控制容纳的籽晶处的所述坩埚位置的温度。根据本实用新型,可以在坩埚的底部周围形成可控的温度梯度,从而保证在定向凝固的过程中控制所述籽晶的冷却,保证在单晶形成过程中防止籽晶被完全熔化,并利用该系统以较低的成本来获得单晶锭。 |
申请公布号 |
CN201817569U |
申请公布日期 |
2011.05.04 |
申请号 |
CN201020259649.2 |
申请日期 |
2010.07.08 |
申请人 |
王敬 |
发明人 |
王敬 |
分类号 |
C30B11/00(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I |
主分类号 |
C30B11/00(2006.01)I |
代理机构 |
北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 |
代理人 |
黄德海 |
主权项 |
一种制造单晶锭的系统,其特征在于,包括:上炉体;下炉体,所述下炉体与所述上炉体相配合以形成炉体空间;坩埚,所述坩埚设置在炉体空间内并被构造成容纳籽晶和给料;至少一个加热器,所述加热器用于加热并至少部分熔化所述籽晶,并完全熔化容纳在坩埚中的给料;坩埚支座,用于对所述坩埚进行支撑;隔热部件,所述隔热部件容纳在所述炉体空间内并被构造成相对于所述坩埚上下可移动;以及温度控制单元,所述温度控制单元设置在所述坩埚支座之下,用于控制容纳的籽晶处的所述坩埚位置的温度。 |
地址 |
100084 北京市海淀区清华大学南零楼3单元202室 |